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Home <제품소개<Silicon
 
 
반도체 소자 재료로서 광범위하게 사용되는 Si는 산화물인 SIO₂의 형태로 모래, 암석, 광석등에 풍부하게 존재하고 있어 매우 안정적으로 반도체 산업에 공급될 수 있는 우수한 재료입니다.
또한 Si는 정제과정을 거쳐 99.9999%의 초고순도 단결정 구조를 갖고 온도변화에 따른 물리적, 기계적 성질변화가 적어 비교적 고온 (약200℃정도)에서도 소자가 동작하는 등 강력한 내구성, 고기능성, 고신뢰성을 가지고 있습니다.
 
 
 
 
초고순도의 단결정 구조를 갖는다.
실록산(규소·산도) 사슬은 탄소 ·산소의 결합에너지 보다 훨씬 강하므로 온
도변화에따른 물리적·기계적 성질변화가 적은 장점으로 인하여 비교적 고온
에서도 소자가 작동하는 장점이 있다.
 
 
자원이 풍부하다
Silicon은 지구상에서 산소 다음으로 많이 존재하는 원소이다.
  고순도화 하기가 쉽다.
  단결정화와 불순물 첨가량을 조정하여 저항율 제어가 용이하다.
순도(%) 99.9999
밀도(g/cc) 2.33
꺾임강도(Mpa) 300
경도 1040
열팽창율(10-6/k) 4.0
열전도도(W/mk) 157
열충격(ΔT℃) -
최고사용온도(℃) 1300
절연저항(Ω,cm) 2.4*10⁴
내산화성
용도 반도체용
품명 FOCUS RING
재질 si99.9999%
용도 플라즈마(Plasma)가 형성된 후에 챔버(Chamber)내에서 플라즈마(Plasma)가 정확한 위치로 모여지도록 하는 역할
품명 EDGE RING
재질 si99.9999%
용도 Wafer를 정확히 위치시키는(Align) 역할과 Si Focus Ring의 보조 기능을 수행하여 플라즈마를 안정화하는 역할
품명 CATHODE
재질 si99.9999%
용도 Si Wafer의 표면에 각종 Gas를 일정하게 분사시켜 주는 Wafer 표면처리 역할
품명 CATHODE
재질 si99.9999%
용도  
품명 TRY
재질 si99.9999%
용도  
품명 INSERT RING
재질 si99.9999%
용도  
 
 
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