Untitled Document
 
Untitled Document
 
 
 
Untitled Document
 
 
 
Home <제품소개<QUARTZ
 
 
응용쿼츠(FUSED QUARTZ)는 처음 G·E(General Electric)에 의해 고성능 램프용으로 개발되었으나 화학적 성분과 초고순도, 고내열성등의 뛰어난 특성으로 인하여 램프외에도 반도체, 광섬유등 초고순도의 재질적 특성등을 원하는 다양한 분야에 다양한 형태로 사용된다.
QUARTZ는 높은 순도의 무수규산(SIO₂)을 응융한 수정 GLASS로"실리카GLASS"로도 불린다.
 
초고순도의 재질적 특성을 갇는다.
 
가스함량이 적다.
 
 
 
열팽창계수가 적고 고온에서 뛰어난 특성을 가진다.
팽창계수 5 x 9℃(0~1000℃)로 급열, 급냉에 대해서 높은 내열성을 가지고
반도체 공정에서는 1100℃의 고온에서도 적용된다.
 
 
 
 
비열과 비전도율
비열은 890-1,140j/kg (20-1000)이며 열전도율은 0℃에서 1.3w/mk, 100℃
에서 1.5w/mk이다. 불투명과 투명의 비율은 비슷하나 열전도율은 불투명
GLASS가 다소 낮은편이다.
  뛰어난 전기 절연체.
  자외선, 가시광선, 적외선을 잘 통과시킨다.
  화학적 성분이 우수하고 내산성이 매우 강하다.
순도(%) 최고순도
밀도(g/cc) 2.2
꺾임강도(Mpa) 149
경도 950
열팽창율(10-6/k) 0.5
열전도도(W/mk) 1.66
열충격(ΔT℃) >1000
최고사용온도(℃) 1200
절연저항(Ω,cm) 1018
유전상수(MHZ) 3.58
내산화성
용도 반도체용, 산업용, 이화학용
품명 FOCUS RING
재질 GE124, GE214
용도 플라즈마(Plasma) 형성후, 챔버(Chamber)내의 플라즈마(Plasma)가 정확한 위치로 모이게 하는 역할과 절연기능 수행함
품명 G.D.P
재질 GE124, GE214
용도 Gas (Plasma)를 균일하게 분사시켜주는 역할
품명 SHIELD RING
재질 GE124, GE214
용도 형성된 플라즈마(Plasma)를 ESC척 외부로 벗어나지 않도록 모아주는 역할
 
Untitled Document